超純水（Ultrapure water）極為接近高純度的水，即除了氫離子與氫氧根離子

幾乎沒有任何其他電解質存在的水

 

在製造處理過程後能盡可能將溶在水中或在水中散播的各種雜質除去

包含像是 有機物、細菌、塵埃、氧化物 等任何物質

 

根據半導體產業的發展，隨著製程的開發，使得晶圓線路更加細緻，所使用的清洗用水，也需要更加提昇

為了介於以往的純水名稱，故命名為超純水 

電阻率約達到18.2MΩ-cm，幾乎不能導電